3月27日音问,正在上海进行的SEMICON China 2025展会时候,国产半导体设置新秀新凯来正式颁发了6大类31款新品。
整体网罗了表延浸积EPI设置(峨眉山系列)、原子层浸积ALD设置(阿里山系列)、物理气相浸积PVD设置(普陀山系列)、刻蚀ETCH设置(武夷山系列)、薄膜浸积CVD设置(长白山系列)和量检测设置(网罗岳麓山系列、丹霞山系列、蓬莱山系列、莫干山系列、天门山系列、沂蒙山系列和赤壁山系列和功率检测的RATE系列产物)。
新凯来工业呆板有限公司工艺配备产物线总裁杜立军体现,AI、智能驾驶等财产对算力需求及增进,胀励半导体配备商场稳步增进。配备新身手演进目标是更高能量独揽精度、更速硬件反映速率、更大工艺窗口,以射频/等离子体场为例,估计从7纳米到3纳米的演进历程中,会有10倍的能量独揽精度擢升,时延从10毫秒缩短到1毫秒的硬件反映速率擢升。目前新凯来基于一代工艺、一代原料、一代配备的策画理念,仍旧拓荒了刻蚀产物、扩散产物、薄膜产物以及物理量测产物、X射线量测产物、光学量检测产物6大类工艺和量检测配备,掩盖优秀逻辑和存储,支撑向更优秀节点演进。
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